广州潽拓光电科技有限公司——普发二手泵哪里有修真空泵的

预防真空泵因缺真空泵油而卡死

1、定期更换真空泵油，根据行业不同，真空泵油的质量不同，而制定不同的更换周期，一般来说700---3000小时更换一次，同时还要更换 真空泵油过滤器，注意，每次更换真空泵油要CHE底把真空泵油更换掉，不要只是添加。

   2、定期清洗真空泵油管。

   3、定期更换真空泵油雾分离器，俗称的排气过滤器，防止真空泵油随着尾气排出真空泵，造成真空泵油的减少。

涡轮分子泵 HiPace 1500 特性

对各种气体的高抽吸能力: 不论是小分子量气体 (H2, He) 和大分子量气体 (Ar, CF4) 都有很高的抽速.

高工艺适用性, 防止进入颗粒, 高气流量

分子泵获得 SEMI S2, UL, CSA, TüV 认证

防护等级 IP 54, 符合工业环境应用要求

运行数据监控形成的Z高运行安全性

分子泵安装角度可选 0-90° 或 90-180°

提供抗腐蚀型号

带节流阀和阀门的集成净化气体系统

具有Z高 1450 l/s 抽吸能力的高XING能涡轮泵

适用于轻气体和重气体的高抽吸能力

高工艺适用性，防止进入颗粒

对于重气体同样拥有高气体通过量

准 S2 和 UL/CSA 认证

运行数据监控形成的Z高运行安全性

每一台的进口真空泵都是会有很详细的保养维护说明，一般来说，只要是人们的这种进口真空泵出现问题的时候，大家都是要首先通过设备的保养维护的要求来对比查找是不是自己在进行产品的维护的时候，做的不好或者是不够，造成一种简易的故障，这些故障，一般都是按照使用说明，就可以进行很好的处理的，也是非常简单的一种故障。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

广州潽拓光电科技有限公司——普发二手泵旋片真空泵维修

分子泵叶片破碎是什么原因造成的呢?

 错误操作：比如突然的破真空，因为转子与静子叶片之间的空隙非常的小，如果叶片的材质比较薄或者比较软，突然的空气阻力会造成叶片变形，这样可能会造成转子静子之间的摩擦，导致打碎。旋片真空泵维修

油棉污染：油棉变黑，发黄，建议3-4年更换分子泵油棉，Pfeiffer 复合轴承分子泵内部陶瓷轴承采用油润滑方式，可以给轴承降温，减少轴承滚珠磨损并起到清洗分子泵轴承，避免污染物附着在轴承上面，有效延长分子泵的使用寿命。

由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸气被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。shou先，分子泵要从小到大建立完整系列，以满足不同场合的需要。旋片真空泵维修

扩散泵：以低压高速蒸汽流（油或gong等蒸汽）作为工作介质的喷射真空泵。气体分子扩散到蒸汽射流中，被送到出口。在射流中气体分子密度始终是很低的，这种泵适于在分子流状态下工作。可分为：

① 自净化扩散泵：泵液中易挥发的杂质经专门的机械输送到出口而不回到锅炉中的一种油扩散泵，旋片真空泵维修

② 分馏式扩散泵：这种泵具有分馏装置，使蒸汽压强较低的工作液蒸汽进入高真空工作的喷嘴，而蒸汽压强较高的工作液蒸汽进入低真空工作的喷嘴，它是一种多级油扩散泵。

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广州潽拓光电科技有限公司——普发二手泵涡轮分子泵定期保养

定期保养

油旋片泵的泵油起到润滑、密封和冷却的作用，工艺气体中的粉尘，泵运转时磨损下来的金属碎屑会进入到泵油当中，未成功排出的可凝蒸汽也会在冷凝后混合在泵油内，到达一定程度，就会带来泵油变色、乳化、润滑性能下降，所以需要定期更换泵油，有些旋片泵配置了专门的油过滤器，在更换泵油时也要一并更换。更换泵油的频率取决于实际的工艺和泵油的种类，一般建议每半年到1年要更换一次。

涡轮分子泵特点

抽速大、无油、启动快、无油污染、维护简单

工作范围:清洁的低真空~中、高真空，大气~超高真空

极限真空:10/ 10torr

缺点:结构复杂、对轴承耐磨程度要求高、制造成本高

有大量粉尘的应用一定要加装粉尘过滤器

在粉尘量较大的应用中，应加装进气口粉尘过滤器，以防止粉尘吸入。否则，大量的粉尘进入泵腔，将造成泵腔严重磨损，使整台泵失去维修价值。

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